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在高精度原子力顯微鏡的系統(tǒng)中，可分成三個(gè)部分：力檢測(cè)部分、位置檢測(cè)部分、反饋系統(tǒng)。1、力檢測(cè)部分在原子力顯微鏡(AFM)的系統(tǒng)中，所要檢測(cè)的力是原子與原子之間的范德華力。所以在本系統(tǒng)中是使用微小懸臂(cantilever)來(lái)檢測(cè)原子之間力的變化量。微懸臂通常由一個(gè)一般100~500μm長(zhǎng)和大約500nm~5μm厚的硅片或氮化硅片制成。微懸臂頂端有一個(gè)尖銳針尖，用來(lái)檢測(cè)樣品-針尖間的相互作用力。這微小懸臂有一定的規(guī)格，例如：長(zhǎng)度、寬度、彈性系數(shù)以及針尖的形狀，而這些規(guī)格的選擇是...

臺(tái)階儀屬于接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x器。根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺(tái)階測(cè)量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測(cè)量原理是：當(dāng)觸針沿被測(cè)表面輕輕滑過時(shí)，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí)，還沿峰谷作上下運(yùn)動(dòng)。觸針的運(yùn)動(dòng)情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號(hào)經(jīng)測(cè)量電橋后，輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號(hào)。經(jīng)放大與相敏整流后，可將位移信號(hào)從調(diào)幅信號(hào)中解調(diào)出來(lái)，得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號(hào)。再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進(jìn)一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號(hào)...

臺(tái)式納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測(cè)試，測(cè)試結(jié)果通過力與壓入深度的曲線計(jì)算得出，無(wú)需通過顯微鏡觀察壓痕面積。臺(tái)式納米壓痕儀在使組織工程復(fù)合藥物和軟(生物)材料的領(lǐng)域具有準(zhǔn)確和容易的方式，無(wú)損地測(cè)量軟(生物)材料和組織的局部機(jī)械性能。在許多應(yīng)用中，用于檢查水凝膠和水凝膠結(jié)構(gòu)(莖)細(xì)胞微環(huán)境的局部機(jī)械性質(zhì)，3D印刷支架和結(jié)構(gòu)組織支架健康和再生組織植物部分合成和生物聚合物硅可生物降解材料等等。納米壓痕儀主要用于測(cè)量納米尺度的硬度與彈性模量，可以用于研究或測(cè)試薄...