光學(xué)輪廓儀是以白光干涉技術(shù)原理,對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量的儀器,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
三維光學(xué)輪廓儀是對物體的輪廓、三維尺寸、三維位移進(jìn)行測試與檢驗的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣泛。是通過儀器的觸針與被測表面的滑移進(jìn)行測量的,是接觸測量。其主要優(yōu)點(diǎn)是可以直接測量某些難以測量到的零件表面,如孔、槽等的表面粗糙度,又能直接按某種評定標(biāo)準(zhǔn)讀數(shù)或是描繪出表面輪廓曲線的形狀,且測量速度快、結(jié)果可靠、操作方便。但是被測表面容易被觸針劃傷,為此應(yīng)在保證可靠接觸的前提下盡量減少測量壓力。
光學(xué)輪廓儀的操作步驟:
1、將樣品放置在夾具上,確保樣品狀態(tài)穩(wěn)定;
2、將夾具放置在載物臺上;
3、檢查電機(jī)連接和環(huán)境噪聲,確認(rèn)儀器狀態(tài);
4、使用操縱桿調(diào)節(jié)三軸位置,將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋;
5、完成掃描設(shè)置和命名等操作;
6、點(diǎn)擊開始測量(進(jìn)入3D視圖窗口旋轉(zhuǎn)調(diào)整觀察一會);
7、進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面,點(diǎn)擊“去除外形”,采用默認(rèn)參數(shù),點(diǎn)擊應(yīng)用獲取樣品表面粗糙度輪廓;
8、進(jìn)入分析工具模塊,點(diǎn)擊參數(shù)分析,直接獲取面粗糙度數(shù)據(jù),點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)可更換參數(shù)標(biāo)準(zhǔn),增刪參數(shù)類型。
9、如果想獲取線粗糙度數(shù)據(jù),則需提取剖面線;
10、進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面,點(diǎn)擊“提取剖面”圖標(biāo),選擇合適方向剖面線進(jìn)行剖面輪廓提取;
11、進(jìn)入分析工具界面,點(diǎn)擊“參數(shù)分析”圖標(biāo),點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn),勾選所需線粗糙度相關(guān)參數(shù),即可獲取線粗糙度Ra數(shù)據(jù)。